MEMS技术-深圳文献港

MEMS技术: 所属学科：工学标签： MEMS技术本课程有：217人浏览 0人选课; MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。